FFU洁净单元的关键性能参数：
模数尺寸：安装吊顶龙骨中心线的间距，FFU常用的标准模数尺寸为1200*600（4' * 2'）、1200*900（4' * 3'）、1200*1200（4' * 4'）。
实际尺寸：FFU过滤器的实际尺寸=模块尺寸-（龙骨断面宽度-25mm），风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的圆顶龙骨端面宽度为55mm，模数尺寸为1200，900，600所对应的FFU过滤器实际尺寸1170，870，570，风机模块的实际尺寸为1174，874，574。
机外余压：在某一设定风速下，风机模块的总静压下（TSP）扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力，即为机外余压（ESP），单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力，无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP，都必需指名送风风速或风量，否则没有意义。
输入能耗：FFU正常运转时输入电压或输入电流的乘积，单位是W。显然，FFU在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，输入能耗不同。因此，如果不指名运行工况点，输入能耗值没有意义。 单位噪音：根据标准IES-RP-CC002，FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2m处的噪音值，单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，噪音不同。因此，如果不指明运行工况点，噪音值没有意义。
微振：根据标准IES-RP-CC002，FFU在最大运转工况点时的振动幅度和振动速率，单位分别是mm和mm/s。
送风均匀度：根据标准IES-RP-CC002，FFU正常运转时，在距离出风面下方150mm(6'' )的水平面上测量逐点的风速，得出平均风速值。平均风速与最大风速和最小风速的偏差比即为送风均匀度，单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。
过滤器效率等级：依据欧洲标准EN1822，过滤器等级从H10-H14，U15-U17，或依据美国标准MIL-282(HEPA)对于0.3um的效率值；依据美国标准IES-RP-CC007.1，对于0.12um的效率值。